Kapacitné senzory

capaNCDT

Capacitive displacement sensors from Micro-Epsilon are available in different designs and versions. The sensors are differentiated by their measuring range, their design and by the technology used to manufacture them. The capacitive sensors are available in a cylindrical design (with integrated cable or socket) or as flat sensors (with integrated cable). Replacing the sensors can be executed without requiring any recalibration and within short time. Most of the sensors can be used in clean rooms and in ultra-high vacuums.


Click on the respective category to obtain further information about capacitive sensors.

CS = capa Sensor
HP = High Precision

Podrobnosti

info-40px Pre zobrazenie podrobností prejdite kurzorom na tabuľku.

CS005

CAD Ansicht
Hmotnosť: 2 g
Rozlíšenie: 0,0375 nm *
Linearita: 0,15 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -0,5 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS02

CAD Ansicht
Hmotnosť: 2 g
Rozlíšenie: 0,15 nm *
Linearita: 0,04 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -2 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS05

CAD Ansicht
Hmotnosť: 4 g
Rozlíšenie: 0,375 nm *
Linearita: 0,5 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -5 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSE05

CAD Ansicht
Hmotnosť: 2 g
Rozlíšenie: 0,375 nm *
Linearita: 0,15 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -5 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS08

CAD Ansicht
Hmotnosť: 7 g
Rozlíšenie: 0,6 nm *
Linearita: 0,4 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -8 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS1

CAD Ansicht
Hmotnosť: 8 g
Rozlíšenie: 0,75 nm *
Linearita: 1,5 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -32 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS1HP

CAD Ansicht
Hmotnosť: 8 g
Rozlíšenie: 0,75 nm *
Linearita: 1,5 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -10 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSE1

CAD Ansicht
Hmotnosť: 3,5 g
Rozlíšenie: 0,75 nm *
Linearita: 2 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -10 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS2

CAD Ansicht
Hmotnosť: 50 g
Rozlíšenie: 1,5 nm *
Linearita: 1 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -64 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSE2

CAD Ansicht
Hmotnosť: 20 g
Rozlíšenie: 1,5 nm *
Linearita: 2,6 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -64 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS3

CAD Ansicht
Hmotnosť: 70 g
Rozlíšenie: 2,25 nm *
Linearita: 0,9 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -96 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS5

CAD Ansicht
Hmotnosť: 95 g
Rozlíšenie: 3,75 nm *
Linearita: 2,5 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -160 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CS10

CAD Ansicht
Hmotnosť: 180 g
Rozlíšenie: 7,5 nm *
Linearita: 15 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -320 nm/ppm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke
CSH = capa Sensor Hybrid

Podrobnosti

info-40px Pre zobrazenie podrobností prejdite kurzorom na tabuľku.

CSH02-CAm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 30 g
Rozlíšenie: 0,15 nm *
Linearita: 0,054 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -2,4 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH05-CAm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 30 g
Rozlíšenie: 0,38 nm *
Linearita: 0,13 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -6 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH1-CAm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 33 g
Rozlíšenie: 0,75 nm *
Linearita: 0,13 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -12 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH1,2-CAm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 33 g
Rozlíšenie: 0,9 nm *
Linearita: 0,84 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -14,4 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH2-CAm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 38 g
Rozlíšenie: 1,5 nm *
Linearita: 0,5 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -24 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke
CSH = capa Sensor Hybrid
FL = Flat Design

Podrobnosti

info-40px Pre zobrazenie podrobností prejdite kurzorom na tabuľku.

CSH02FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 28 g
Rozlíšenie: 0,15 nm *
Linearita: 0,05 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -2,4 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH05FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 28 g
Rozlíšenie: 0,38 nm *
Linearita: 0,09 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -6 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH1FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 30 g
Rozlíšenie: 0,75 nm *
Linearita: 0,2 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -12 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH1,2FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 30 g
Rozlíšenie: 0,9 nm *
Linearita: 0,84 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -14,4 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSH2FL-CRm1,4

CAD Ansicht
Hmotnosť: 36 g
Rozlíšenie: 1,5 nm *
Linearita: 0,32 µm *
Citlivosť teplotnej stabilty: -24 nm/°C
Max. prevádzková teplota: +200 °C
Dĺžka kábla: 1,4 m
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke
CSG = capa Sensor Gap

Podrobnosti

info-40px Pre zobrazenie podrobností prejdite kurzorom na tabuľku.

CSG0,50-CAm2,0

CAD Ansicht
Hmotnosť: 77 g
Rozlíšenie: 4 nm *
Linearita: 0,5 µm *
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke

CSG1,0-CAm2,0

CAD Ansicht
Hmotnosť: 77 g
Rozlíšenie: 8 nm *
Linearita: 1 µm *
* Závisí na vyhodnocovacej jednotke
juraj.devecka@micro-epsilon.cz