Kapacitní měření tloušťky ve vysoce přesných aplikacích

27.07.2021

Kapacitní senzory od Micro-Epsilon měří posuv a vzdálenost na bezdotykové bázi, ale dají se použít i pro bezkontaktní měření tloušťky. Senzory capaNCDT dosahují submikronové přesnosti a vynikající linearity, opakovatelnosti i rozlišení v čistém průmyslovém prostředí. Díky své vysoké teplotní stabilitě generují stabilní hodnoty měření i při kolísání okolních teplot.

Každý kapacitní senzor lze provozovat s jakýmkoliv kontrolérem Micro-Epsilon bez nutnosti složité kalibrace. Různá komunikační rozhraní jako analog, Ethernet a EtherCAT umožňují připojení k moderním strojům a systémům. Nastavení lze provést přes uživatelsky přívětivé webové rozhraní.

Při monitorování výroby měří kapacitní senzory například tloušťku filmu a nanášení lepidla. Instalované ve strojích sledují posun a polohu nástrojů.

Vysoce přesné měření tloušťky bateriových fólií

Aby bylo možné s vysokou přesností určit tloušťku bateriových fólií, jsou přímo ve výrobní lince používány kapacitní snímače. Za tímto účelem jsou snímače připevněny k měřicímu držáku a měří fólii ze dvou stran. Každý ze dvou kapacitních snímačů vzdálenosti posílá signál vzdálenosti s vysokým rozlišením, který je přímo zpracován v ovladači DT6200 jako hodnota měření tloušťky. Vzhledem k tomu, že měřicí bod snímačů je větší než u optických měřicích metod, struktury a anomálie na povrchu jsou zprůměrovány. Díky vysoké teplotní stabilitě poskytují snímače stabilní hodnoty měření i při kolísání okolních teplot.

Pro přesné měření tloušťky se používá inovativní vícekanálový ovladač capaNCDT 6200. Detekuje, zpracovává a vyhodnocuje hodnoty až ze čtyř kanálů současně. Pro rychlá měření až do 20 kHz se používá vícekanálový systém capaNCDT 6222.

Vysoce přesné měření tloušťky křemíkových plátků

Kapacitní snímače vzdálenosti se používají pro přesné měření tloušťky plátů. Dva protilehlé senzory detekují jak tloušťku, tak i další parametry, jako je prohnutí plátu. Poloha destičky v měřicí mezeře se může měnit bez ovlivnění přesnosti měření.

Pokud je prostor pro instalaci omezený, lze použít ploché kapacitní snímače. Nejmenší dostupná velikost jsou pouhé 4 mm.

Výhody kapacitních snímačů

• Nejvyšší přesnost v řádech subnanometru
• Vynikající teplotní stabilita
• Velmi vysoká všestrannost použití: polovodičový průmysl, měření vzduchové mezery velkých motorů, měření deformace brzdových kotoučů, polohování strojů
• Snadné nastavení přes webové rozhraní
• Modulární a synchronizovatelné vícekanálové kontroléry