Vysoce přesné měření tloušťky elektricky vodivých fólií
Kapacitní systém TFG6220 měří tloušťku elektricky vodivých vrstev, např. vrstev baterií, s maximální přesností. Vakuové zařízení nasaje měřený objekt, vyhladí jej a zajistí tak, že je optimálně umístěn bez vrásek. Tímto způsobem lze měření provádět s maximální možnou přesností. Systém se používá pro offline náhodné vzorky při kontrole kvality. V neposlední řadě je systém TFG6220 předem sestaven a připraven k provozu, což umožňuje rychlé spuštění.
Characteristics
- Rychlá offline kontrola tloušťky filmu
- Rozlišení: 10 nm
- Vysoká opakovatelnost: 1 µm
- Maximální tloušťka filmu: < 1 mm
- Automatické vyhlazování fólie pomocí vakua zajišťuje velmi přesné výsledky.
- Integrovaná měřicí vložka pro snadnou referenci před měřením tloušťky
- Snadné ovládání/vizualizace prostřednictvím volně přístupného softwaru sensorTOOL
Precizní kontrola pro nejvyšší kvalitu
Sestava se skládá z montážního přípravku, ve kterém jsou uchyceny dva kapacitní snímače zapojené do capaNCDT kontroléru. Tloušťka je počítána rozdílem součtu naměřené vzdálenosti ze dvou protilehlých senzorů od fixní hodnoty konstrukční vzdálenosti. Automatické vyhlazení fólie je provedeno externě připojeným vakuovým zařízením, které fólii vypne do roviny. Díky tomu je dosaženo mikrometrické přesnosti.
Trvale instalovaný kapacitní snímač (1) na horní straně měří vzdálenost od měřeného objektu (2). Měřicí vložka (3) slouží jako referenční plocha, přes kterou je měřený objekt nasáván a natahován pomocí vakua. Kapacitní snímač na spodní straně (4) měří na měřicí vložce a kompenzuje mechanický posun styčné plochy.