Prejdite priamo na hlavnú navigáciu Prejdite priamo na obsah Prejsť na vedľajšiu navigáciu

Polovodiče

Úlohy měření v polovodičovém průmyslu vyžadují nejvyšší přesnost a opakovatelnost. Micro-Epsilon nabízí správné řešení pro řadu aplikací od přesného polohování stroje až po topografické měření.

Vysoce přesné měření tloušťky křemíkových destiček

Pro přesné měření tloušťky destiček se používají kapacitní snímače. Dva protilehlé snímače detekují tloušťku a také měří další parametry, jako jsou například deformace nebo řezné značky. Umístění oplatky v měřicí mezery se může lišit. …

Uč sa viac
Hochpräzise Dickenmessung von Silizium-Wafern

Zkroucení plátů

Konfokální chromatické systémy snímají povrch plátů a detekují různé oblouky, deformace a vychýlení. Konfokální snímače confocalDT s měřicí frekvencí 70 kHz umožňují velmi rychlá měření. To umožňuje kontrolu destičky nebo plátu ve velmi krátkém…

Uč sa viac
Durchbiegung von Wafern

Detekce a měření pilových značek

Pro automatickou detekci a měření pilových značek se používají konfokální chromatické systémy od Micro-Epsilon. Funkce rychlé korekce povrchu reguluje expoziční cykly, aby se dosáhlo maximální stability signálu na površích s měnícími se…

Uč sa viac
Erkennen und Messen von Sägeriefen

Detekce a měření nerovností na křemíkových destičkách

Při meření nerovností na křemíkových destičkách se používají konfokální chromatické systémy confocalDT od společnosti Micro-Epsilon. Emitují na destičku malý světelný bod a z toho důvodu se precizně detekují i ty nejmenší části a struktury ve…

Uč sa viac
Erkennung und Vermessung von Bumps auf Siliziumwafern

Umístění masky v litografii

Litografické procesy vyžadují vysoké rozlišení a dlouhodobé měření pohybu strojů, aby bylo dosaženo maximální přesnosti. Vysoké rozlišení umožňuje nanometricky přesné umístění masky pomocí kapacitních snímačů Micro-Epsilon. Jejich vhodná…

Uč sa viac
 Im Lithografieprozess ist eine hochauflösende und langzeitstabile Messung von Maschinenbewegungen erforderlich, um maximale Präzision zu erzielen. Dank der hohen Auflösung ermöglichen kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon die nanometergenaue Positionierung der Masken. Vakuumtaugliche Ausführungen der Sensoren und Sensorkabel erlauben den Einsatz bis ins UHV. Zum Produkt capaNCDT 6200 Applikationen Branchen Additive Fertigung

Průhledné vrstvy a nalepovací lemování

Pro jednostranné měření tloušťky transparetních vrstev se používají konfokální chromatické snímače confocalDT. Princip konfokálního měření umožňuje vyhodnocení několika špiček signálu, což umožňuje stanovit tloušťku průhledných materiálů. S…

Uč sa viac
Messung von transparenten Schichten & Kleberaupen

Precise notch detection on glass wafers

The manufacture of high-quality semiconductor chips requires precise alignment and positioning techniques during the production of glass wafers. A crucial step here is notch detection, in which the positions of the notches on the wafer are…

Uč sa viac
Precise notch detection on glass wafers

Umístění čočkového systému v litografických strojích

Bezdotykové indukční snímače (vířivý proud) měří polohu čoček v litografických strojích, aby bylo dosaženo nejvyšší možné přesnosti zobrazování. Snímače eddyNCDT se používají pro sledování pohybu a polohy až do 6 stupňů a poskytují…

Uč sa viac
Positionierung des Linsensystems in Lithografiemaschinen

Nanometrické polohování na litografických strojích

Pro osvětlení jednotlivých komponent na plátku se litografická zařízení pohybují plátkem do příslušné polohy. Kapacitní snímače posuvu měří polohu dráhy pohybu tak, aby umožňovaly přesné umístění nanometrů. …

Uč sa viac
Nanometergenaue Positionierung in Lithografiemaschinen

Umístění plátků

Snímače od společnosti Micro-Epsilon se používají také pro sledování polohy destičky, kde se měří během velmi vysoké rychlosti stolice. Kapacitní a induktivní (vířivé proudy) snímače měří s nanometrovým rozlišením. Tím zajisťují, že destička je…

Uč sa viac
Positionierung der Waferstage

Kontrola prasklin a úlomků

Konfokální chromatické systémy confocalDT se používají pro detekci trhlin a dalších defektů na plátcích. Spolehlivě monitoruji povrchy s proměnnými odrazovými charakteristikami díky funkci rychlé korekce povrchu. Extrémně malý světelný bod a…

Uč sa viac
Überprüfung auf Risse und Abbrüche

Monitoring optical systems using wavefront sensors

Shack-Hartmann wavefront sensors from Optocraft measure the alignment state and the imaging quality of the entire optical system. The robust measuring principle allows machine integration and automated measuring sequences, as well as laser beam…

Uč sa viac
Monitoring optical systems with wavefront sensors

Měření tloušťky plátků / TTV

Konfokální chromatické snímače měří celkovou tloušťku  oboustranně. Na základě profilu tloušťky oplatky lze detekovat vrchní a spodní část. Vysoké rychlosti měření umožňují detekci tloušťky celého plátku v krátkých dobách cyklu. …

Uč sa viac
Wafer-Dickenmessung / TTV