Interferometr pro měření absolutní vzdálenosti bílým světlem s přesností subnanometru
Nový interferometr na bázi bílého světla IMS5600-DS se používá pro měření vzdálenosti s nejvyšší možnou precizností. Ovládací jednotka umožňuje speciální kalibraci s inteligentním vyhodnocením a dovoluje tak absolutní měření s rozlišením subnanometru. Interferometr je tak předurčen k měřícím úlohám, kde je kladen důraz na nejvyšší přesnost, např. při výrobě elektroniky a polovodičů.
Podrobnosti
- Měření vzdálenosti se subnanometrickou přesností
- To nejlepší ve své třídě: Rozlišení 30 picometerů
- Absolutní měření, vhodné pro stupňovité profily
- Robustní, ale kompaktní senzor s velkou offsetovou vzdáleností
- Frekvence až 6 kHz pro měření ve vysoké rychlosti
- Snadná konfigurace pomocí webového rozhraní
- Sondy a kabely vhodné i do vakua
Absolutní měření vzdálenosti s velkým měřícím rozsahem a ofsetovou vzdáleností
Interferometr IMS5600-DS se používá pro vysoce přesná měření vzdálenosti a polohy. Systém poskytuje absolutní hodnoty a může tak být použit pro měření stupňovitých profilů. Díky absolutnímu měření jsou výškové rozdíly vzorkovány s vysokou stabilitou signálu. Při měření pohybujících se objektů tak lze spolehlivě změřit výškové rozdíly mezi stupni a identifikovat výstupky či prohlubně. Tento systém nabízí rozlišení v řádu subnanometrů zároveň s velkým offsetem v závislosti na velikosti měřícího rozsahu.
Multi-peak distance measurement
With multi-peak distance measurement on transparent objects, up to 14 distance values are evaluated simultaneously. For example, the distance between glass and a carrier plate can be determined. The controller can then calculate the glass thickness from the distance values.
Navržen pro měření s vysokým rozlišením ve vakuu
Interferometry IMS5600-DS mohou být využity k měřícím úlohám v prostředí vakua a čistých místnostech, kde dosahují rozlišení v řádu subnanometru. Pro vakuové aplikace nabízí Micro-Epsilon speciální sondy, kabely, průchodky a další příslušenství. Tyto senzory a kabely jsou určené do bezprašných prostor, od čistých místností (cleanroom) až po UHV.
Stabilní měření vzdálenosti s nejvyšší přesností
Kontrolér může být instalován v kontrolní skříní na DIN lištu a poskytovat stabilní výsledky měření díky aktivní teplotní kompenzaci a pasivnímu chlazení. Tyto kompaktní snímače šetří místo a mají flexibilní optický kabel. Délka kabelu až 10 m umožňuje prostorové oddělení snímače a kontroléru. Sondu lze snadno a rychle vyrovnat díky integrovanému zaměřovacímu laseru. Při uvedení do provozu lze jednotlivé parametry nastavit pohodlně přes webové rozhraní bez nutnosti instalace dalšího softwaru.
Měření široké škály povrchů
Interferometrická metoda měření dovoluje měřit s vysokou přesností na četných površích, jako jsou reflexní kovy, plasty či sklo.
NEW: Sensors also with 90° beam path
Due to their compact size, these sensors can also be integrated into restricted spaces. In particular, the models with 90° beam path require significantly less required installation space.
Numerous models for demanding measurement tasks
| Model | Measuring range / Start of measuring range |
Linearity | Number of measurable layers | Fields of application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ±10 nm | - | High-precision distance measurement in a clean room environment and vacuum, e.g. measurement on coated wafers. Non-magnetic titanium UHV variant enables use in strong magnetic fields, e.g. in medical technology (nuclear spinning or electron beam microscope) |
| IMS5600-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5600-DS19 | 2.1 mm / approx. 19 mm | ±10 nm | - | High precision distance measurements in industrial processes e.g. in precision manufacturing |
| IMS5600-DS19/VAC | Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning | |||
| IMS5600MP-DS19 | Distance measurement: 2.1 mm / approx. 19 mm Thickness measurement: 0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm |
±10 nm for the first distance ±100 nm for each further distance |
Up to 13 layers | High-precision distance and thickness measurements in industrial processes e.g. in semiconductor production for determining layer thicknesses on wafers or in LED manufacturing |
| IMS5600MP-DS19/VAC | High-precision distance and thickness measurements in clean room environments and vacuum e.g. in semiconductor production for measuring position and gap dimensions on masks and wafers |
Indikační a přepočítací jednotky
Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů
Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.
