Odchylka, deformace, vlnitost
Pokud jsou objekty naloženy s určitou váhou nebo jsou volně stojící, objeví se vždy menší nebo větší deformace objektu. Měření této odchylky lze provést u větších objektů pomocí všech možných snímačů vzdálenosti. Na druhou stranu, pokud je třeba měřit vychýlení malé destičky, jsou pro tento účel nezbytné vysoce přesné měřicí systémy, jako jsou systémy vyvinuté firmou Micro-Epsilon.