Umístění čočkového systému v litografických strojích

Bezdotykové indukční snímače (vířivý proud) měří polohu čoček v litografických strojích, aby bylo dosaženo nejvyšší možné přesnosti zobrazování. Snímače eddyNCDT se používají pro sledování pohybu a polohy až do 6 stupňů a poskytují vysokofrekvenční odezvu.

Odporúčaná technológia snímačov

Snímače vírivých prúdov

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
juraj.devecka@micro-epsilon.cz
+421 911 298 922
+420 381 211 060