Vysoce přesný interferometr pro bezkontaktní měření vzdálenosti a tloušťky

interferoMETER IMS5400-DS

Měření vzdálenosti s maximální přesností

interferoMETER IMS5400-TH

Měření tloušťky nejtenčích skel a fólií s přesností v nanometrech

interferoMETER IMS5600-DS

Měření vzdálenosti s rozlišením subnanometru

Inovativní interferometry od společnosti Micro-Epsilon se využívají v aplikacích s požadavky na vysoce přesné měření vzdálenosti a tloušťky. Snímače umožňují stabilní výsledky měření s rozlišením v sub-nanometrech a mají poměrně velký rozsah měření a ofsetovou vzdálenost. Interferometry jsou k dispozici ve třech typech: IMS5400-DS pro vysoce přesné průmyslové měření vzdálenosti, IMS5400-TH pro přesné měření tloušťky a vakuově kompatibilní IMS5600-DS pro měření vzdálenosti s rozlišením v pikometrech.

Interferometr pro průmysl a automatizaci

Interferometr se skládá z robustního snímače, vysoce flexibilního kabelu a kontroléru v hliníkovém pouzdře, které lze připojit na DIN lištu. Kontrolér má aktivní regulaci teploty, pomocí které jsou kompenzovány změny okolní teploty a tím je dosaženo enormní teplotní stability. Díky robustní konstrukci lze interferometr integrovat také do průmyslového prostředí. Délky kabelů jsou až 10 m. K měření úloh v čistých prostorách a ve vakuu jsou k dispozici vakuově kompatibilní snímače, kabely a kabelové průchodky.

Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur

Snímače generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje měřit  např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách. Světelný bod je vizualizován pilotním laserem a usnadňuje seřízení senzoru.

Patented pilot laser for easy sensor positioning

White light interferometers use infrared light in the non-visible range (approx. 840 nm wavelength), which means that the measurement position cannot be seen. To visualize the measuring position, Micro-Epsilon systems are equipped with a pilot laser which projects a light spot onto the measuring position. In addition, the pilot laser uses a patented method to provide feedback on the distance in addition to the measurement position. If the measuring object is at the correct distance and within the measuring range, a constant glow is emitted by the pilot laser. If the measuring object is outside the measuring range, the pilot laser flashes.

Adjustable mounting adapter for sensor alignment

To achieve maximum accuracy, the interferometers must be aligned as perpendicular as possible to the target. With the adjustable mounting adapter, the sensors can be optimally aligned to the measuring object. You can also align the sensor after the installation in the machine. The industrial adapter allows the displacement in the x- and y-axes as well as tilting the sensor to the measuring object.

Snadná obsluha přes webové rozhraní

Celá konfigurace je prováděna pomocí snadno použitelného webového rozhraní. Webové rozhraní je vyvoláno přes ethernetové připojení a umožňuje rychlé a snadné nastavení např. průměrování, měření rychlosti a předvolby.

Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů

Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.