Vysoce přesný interferometr pro bezkontaktní měření vzdálenosti a tloušťky

interferoMETER IMS5400-DS

Měření vzdálenosti s maximální přesností

interferoMETER IMS5400-TH

Měření tloušťky nejtenčích skel a fólií s přesností v nanometrech

interferoMETER IMS5600-DS

Měření vzdálenosti s rozlišením subnanometru

Inovativní interferometry od společnosti Micro-Epsilon se využívají v aplikacích s požadavky na vysoce přesné měření vzdálenosti a tloušťky. Snímače umožňují stabilní výsledky měření s rozlišením v sub-nanometrech a mají poměrně velký rozsah měření a ofsetovou vzdálenost. Interferometry jsou k dispozici ve třech typech: IMS5400-DS pro vysoce přesné průmyslové měření vzdálenosti, IMS5400-TH pro přesné měření tloušťky a vakuově kompatibilní IMS5600-DS pro měření vzdálenosti s rozlišením v pikometrech.

Interferometr pro průmysl a automatizaci

Interferometr se skládá z robustního snímače, vysoce flexibilního kabelu a kontroléru v hliníkovém pouzdře, které lze připojit na DIN lištu. Kontrolér má aktivní regulaci teploty, pomocí které jsou kompenzovány změny okolní teploty a tím je dosaženo enormní teplotní stability. Díky robustní konstrukci lze interferometr integrovat také do průmyslového prostředí. Délky kabelů jsou až 10 m. K měření úloh v čistých prostorách a ve vakuu jsou k dispozici vakuově kompatibilní snímače, kabely a kabelové průchodky.

Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur

Snímače generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje měřit  např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách. Světelný bod je vizualizován pilotním laserem a usnadňuje seřízení senzoru.

Snadná obsluha přes webové rozhraní

Celá konfigurace je prováděna pomocí snadno použitelného webového rozhraní. Webové rozhraní je vyvoláno přes ethernetové připojení a umožňuje rychlé a snadné nastavení např. průměrování, měření rychlosti a předvolby.

Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů

Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.