Optické systémy

Die Überprüfung der Abbildungsqualität von Objektiven erfolgt anhand einer Wellenfrontmessung auf der optischen Achse und im Feld. Automatisierte Messabläufe liefern weiterhin Information zu Brennweite, chromatischen Aberrationen, Polarisationseffekten und PSF und MTF.

Bei der Messung der Brechkraftverteilung und Abbildungsqualität sowie des Linsendurchmessers von weichen oder formstabilen Kontaktlinsen kommen wellenfrontbasierte Messsysteme zum Einsatz.

Neben der Messung der Strahlparameter werden Shack-Hartmann-Wellenfrontsensoren genutzt um Lasersysteme oder z.B. faser-optische Systeme zu justieren. Von Vorteil ist dabei die Unempfindlichkeit gegenüber Vibrationen, die Einsatzmöglichkeit bei verschiedenen Wellenlängen, sowie der hohe Dynamikbereich.

Die präzise Messung der transmittierten Wellenfront liefert eine qualitative Bewertung der Abbildungsqualität eines optischen Systems und ermöglicht dabei eine Inline-Justage des Systems. Das Messmodul SHSInspect RL module lässt sich flexibel in einen Prüfstand integrieren.

Bei der Messung der Brechkraftverteilung und Abbildungsqualität sowie des Linsendurchmessers von Intraokularlinsen kommen wellenfrontbasierte Messsysteme zum Einsatz. Ergonomisches Linsen-Handling und eine hohe Messgeschwindigkeit spielen hierbei eine entscheidende Rolle.

An die Qualität von optischen Filtern und Fenstern werden häufig hohe Anforderungen gestellt. Optocraft bietet schlüsselfertige Lösungen an, für die Messung der Wellenfrontfehler im Durchlicht sowie von Oberflächendefekten.

Zur Einhaltung der Produktionstoleranzen wird die Kontur von optischen Linsen mit konfokal-chromatischen Sensoren abgetastet. Die Sensoren bieten einen hohen Verkippungswinkel und können daher auch gekrümmte Oberflächen abtasten.

Konfokale Sensoren erfassen die Abstände zwischen den einzelnen Autofokus-Linsen, um eine möglichst hohe Bildqualität der Kamera zu ermöglichen.

Bei optischen Komponenten wie z.B. Spiegeln wird eine hohe Oberflächenhomogenität vorausgesetzt. Zur Prüfung der spiegelnden Oberflächen werden reflectCONTROL Sensoren eingesetzt. Diese erkennen und klassifizieren Oberflächenabweichungen auf der Spiegelfläche.

Optische Systeme umfassen eine große Bandbreite, von Mikrooptiken mit Abmessungen im µm-Bereich bis hin zu Teleskop-Optiken mit Durchmessern von mehreren Metern. Optocraft liefert multifunktionale Systeme basierend auf Shack-Hartmann Wellenfronttechnologie für die Optik-Prüfung.

Zur Einhaltung der Produktionstoleranzen wird die Mittendicke von optischen Linsen wie z.B. Brillengläsern oder Objektiven mit konfokal-chromatischen Sensoren gemessen. Die Messung erfolgt von nur einer Seite und kann auch bei sehr dünnen Linsen durchgeführt werden.

Zur Belichtung einzelner Bauelemente auf dem Wafer verschieben die Lithografiegeräte den Wafer an die jeweilige Position. Um die nanometergenaue Positionierung zu ermöglichen, messen kapazitive Wegsensoren die Position des Verfahrweges.

Bei der Suche nach neuen Materialien für Kontaktlinsen muss das Objekt verschiedene Prüfungen über sich ergehen lassen. Mit dem optoCONTROL 2600 werden die Linsen berührungslos in dem Gehäuse auf Maßänderungen bei Erwärmung und Dehnung der Linsen überprüft.