Optické systémy

Zur Einhaltung der Produktionstoleranzen wird die Kontur von optischen Linsen mit konfokal-chromatischen Sensoren abgetastet. Die Sensoren bieten einen hohen Verkippungswinkel und können daher auch gekrümmte Oberflächen abtasten.

Konfokale Sensoren erfassen die Abstände zwischen den einzelnen Autofokus-Linsen, um eine möglichst hohe Bildqualität der Kamera zu ermöglichen.

Bei optischen Komponenten wie z.B. Spiegeln wird eine hohe Oberflächenhomogenität vorausgesetzt. Zur Prüfung der spiegelnden Oberflächen werden reflectCONTROL Sensoren eingesetzt. Diese erkennen und klassifizieren Oberflächenabweichungen auf der Spiegelfläche.

Optische Systeme umfassen eine große Bandbreite, von Mikrooptiken mit Abmessungen im µm-Bereich bis hin zu Teleskop-Optiken mit Durchmessern von mehreren Metern. Optocraft liefert multifunktionale Systeme basierend auf Shack-Hartmann Wellenfronttechnologie für die Optik-Prüfung.

Zur Einhaltung der Produktionstoleranzen wird die Mittendicke von optischen Linsen wie z.B. Brillengläsern oder Objektiven mit konfokal-chromatischen Sensoren gemessen. Die Messung erfolgt von nur einer Seite und kann auch bei sehr dünnen Linsen durchgeführt werden.

Zur Belichtung einzelner Bauelemente auf dem Wafer verschieben die Lithografiegeräte den Wafer an die jeweilige Position. Um die nanometergenaue Positionierung zu ermöglichen, messen kapazitive Wegsensoren die Position des Verfahrweges.

Bei der Suche nach neuen Materialien für Kontaktlinsen muss das Objekt verschiedene Prüfungen über sich ergehen lassen. Mit dem optoCONTROL 2600 werden die Linsen berührungslos in dem Gehäuse auf Maßänderungen bei Erwärmung und Dehnung der Linsen überprüft.