Detekce a měření nerovností na křemíkových destičkách

Při meření nerovností na křemíkových destičkách se používají konfokální chromatické systémy confocalDT od společnosti Micro-Epsilon. Emitují na destičku malý světelný bod a z toho důvodu se precizně detekují i ty nejmenší části a struktury ve vysokém rozlišení. Tvar a rozměry nerovností na povrchu jsou měřeny proto velmi spolehlivě.