Vysoce přesné interferometry s bílým světlem pro absolutní měření vzdálenosti a tloušťky
Inovativní interferometry bílého světla od společnosti Micro-Epsilon stanovují standardy v oblasti vysoce přesných měření vzdálenosti a tloušťky. Absolutní interferometry umožňují stabilní výsledky měření s rozlišením v řádu subnanometrů a nabízejí poměrně velký rozsah měření a vzdálenost posunu. Interferometry se používají pro absolutní měření vzdálenosti a tloušťky průhledných objektů a destiček.
Přesvědčte se sami: nejvyšší přesnost měření pro aplikace v průmyslu a při výrobě polovodičových strojů.
Modely
Významné výhody inovativních interferometrů s bílým světlem
- Absolutní měření vzdálenosti s přesností na nanometry
- Spolehlivé měření tloušťky: tloušťky materiálů od 1 µm, bez ohledu na vzdálenost snímače
- Měření vzdálenosti s více vrcholy a měření tloušťky více vrstev
- Nejlepší ve své třídě: rozlišení < 30 pikometrů (IMS5600)
- Vysoká stabilita signálu díky novým vyhodnocovacím algoritmům a aktivní teplotní kompenzaci
- Velká vzdálenost offsetu
- Snímače optimalizované pro průmyslové použití s robustním kovovým pouzdrem a flexibilními kabely
- Snímače a kabely kompatibilní s vakuem
- Jednoduchá obsluha a rychlé nastavení na místě
Interferometr pro průmysl a automatizaci
Interferometr se skládá z robustního snímače, vysoce flexibilního kabelu a kontroléru v hliníkovém pouzdře, které lze připojit na DIN lištu. Kontrolér má aktivní regulaci teploty, pomocí které jsou kompenzovány změny okolní teploty a tím je dosaženo enormní teplotní stability. Díky robustní konstrukci lze interferometr integrovat také do průmyslového prostředí. Délky kabelů jsou až 10 m. K měření úloh v čistých prostorách a ve vakuu jsou k dispozici vakuově kompatibilní snímače, kabely a kabelové průchodky.
Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur
Snímače generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje měřit např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách. Světelný bod je vizualizován pilotním laserem a usnadňuje seřízení senzoru.
New sensor models with different designs
New sensors with different designs and properties are available for the integration in demanding environments. Due to their 90° beam path, both the IMP-DS0.5/90/VAC and the IMP-DS10/90/VAC can also be mounted in low installation spaces. The new IMP-DS1/VAC miniature sensor is one of the smallest optical sensors from Micro-Epsilon. With a diameter of 4 mm and an integrated cable, the sensor can also be used in extremely confined installation spaces. Sensors and cables can be used both in the clean room and in a vacuum.
Patentovaný pilotní laser pro snadné umístění snímače
Interferometry s bílým světlem používají infračervené světlo v neviditelném rozsahu (vlnová délka přibližně 840 nm), což znamená, že měřicí poloha není viditelná. Pro vizualizaci měřicí pozice jsou systémy Micro-Epsilon vybaveny pilotním laserem, který promítá světelný bod na měřicí pozici. Pilotní laser navíc využívá patentovanou metodu, která kromě měřicí pozice poskytuje také zpětnou vazbu o vzdálenosti. Pokud je měřený objekt ve správné vzdálenosti a v měřicím rozsahu, pilotní laser vydává konstantní světlo. Pokud je měřený objekt mimo měřicí rozsah, pilotní laser bliká.
Jednoduchá integrace na místě
- Zaměnitelnost komponentů umožňuje flexibilní integraci
- Rychlý a efektivní servis na místě
- Výměna světelného zdroje možná servisním personálem společnosti Micro-Epsilon přímo na výrobní lince
- Výměna snímače stejného typu (pro IMS5400): odstranění snímače nebo rekalibrace v továrně Micro-Epsilon není nutná
- Zákazník může provést změnu délky a výměnu kabelů stejného typu: není nutné zasílat systém.
Adjustable mounting adapter for sensor alignment
To achieve maximum accuracy, the interferometers must be aligned as perpendicular as possible to the target. With the adjustable mounting adapter, the sensors can be optimally aligned to the measuring object. You can also align the sensor after the installation in the machine. The industrial adapter allows the displacement in the x- and y-axes as well as tilting the sensor to the measuring object.
New: Adjustable mounting adapter for two-sided thickness measurement
The JMA-Thickness consists of two adjustable mounting adapters, and supports the alignment of sensors in two-sided thickness measurements. This means that the measuring points can be arranged absolutely congruent on an optical axis, which ensures reliable thickness measurements with highest precision. The JMA-Thickness is ideal for the integration into machines and production plants. The preassembled mounting plates allow quick and easy installation.
Snadná obsluha přes webové rozhraní
Celá konfigurace je prováděna pomocí snadno použitelného webového rozhraní. Webové rozhraní je vyvoláno přes ethernetové připojení a umožňuje rychlé a snadné nastavení např. průměrování, měření rychlosti a předvolby.
Indikační a přepočítací jednotky
Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů
Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.
