Interferometr pro měření absolutní vzdálenosti s přesností v nanometrech
Nový interferometr IMS5400-DS otevírá nové perspektivy v průmyslovém měření vzdáleností. Kontrolér má inteligentní vyhodnocení a umožňuje absolutní měření s přesností v nanometrech s relativně velkou ofsetovou vzdáleností. Ve srovnání s jinými absolutně měřicími optickými systémy nabízí IMS5400-DS bezkonkurenční kombinaci přesnosti, rozsahu měření a ofsetové vzdálenosti.
Charakteristika
- Nanometrově přesná, absolutní měření vzdálenosti, vhodná pro stupňovité profily
- Multi-peak měření vzdálenosti průhledných objektů
- Kompaktní a robustní snímače s velkou vzdáleností posunu
- Měřicí frekvence až 6 kHz pro vysokorychlostní měření
- Robustní řídicí jednotka s pasivním chlazením
- Snadná konfigurace přes webové rozhraní
- Kompaktní snímače také s 90° dráhou paprsku
- Flexibilní průmyslová integrace pro rychlou adaptaci na místě
Měření absolutní vzdálenosti s rozlišením v nanometrech
IMS5400-DS se používá pro vysoce přesné měření vzdálenosti a polohy. Na rozdíl od konvenčních interferometrů umožňuje IMS5400-DS stabilní měření stupňovitých profilů. Díky absolutnímu měření jsou úrovně snímány s vysokou stabilitou a přesností signálu. Při měření na pohybujících se objektech lze spolehlivě zaznamenat výškové rozdíly kroků, schodů a vybrání.
Multi-peak distance measurement
With multi-peak distance measurement on transparent objects, up to 14 distance values are evaluated simultaneously. For example, the distance between glass and a carrier plate can be determined. In addition, the controller can calculate the glass thickness based on the distance values.
Ideální pro průmyslové prostředí
Robustní snímač a řídicí jednotka v kovovém pouzdru činí systém ideálním pro integraci do výrobních linek. Regulátor může být instalován do rozvaděče na lištu a poskytuje velmi stabilní výsledky měření díky aktivní kompenzaci teploty a pasivnímu chlazení. Kompaktní snímače šetří prostor a mohou být také integrovány do stísněných prostor. Vysoce flexibilní kabely z optických vláken jsou k dispozici v délce až 10 metrů a umožňují fyzickou separaci senzoru od ovladače. Uvedení do provozu a parametrizace se provádí pohodlně přes webové rozhraní a nevyžaduje žádnou instalaci softwaru.
Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur
Senzory generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje sledovat malé detaily, např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách.
Měření široké škály povrchů
Interferometrická metoda měření dovoluje měřit s vysokou přesností na četných površích, jako jsou reflexní kovy, plasty či sklo.
NEW: Sensors also with 90° beam path
Due to their compact size, these sensors can also be integrated into restricted spaces. In particular, the models with 90° beam path require significantly less required installation space.
Numerous models for demanding measurement tasks
| Model | Measuring range / Start of measuring range |
Linearity | Number of measurable layers |
Fields of application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /approx. 0,5 mm | ± 50nm | - | High-precision distance measurement in a clean room environment and vacuum, e.g. measurement on coated wafers. Non-magnetic titanium UHV variant enables use in strong magnetic fields, e.g. in medical technology (nuclear spinning or electron beam microscope) |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2.1 mm / approx. 19 mm | ±50 nm | - | Industrial distance measurements e.g. in precision manufacturing |
| IMS5400-DS19/VAC | Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning | |||
| IMS5400MP-DS19 | Distance measurement: 2.1 mm / approx. 19 mm Thickness measurement: 0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm |
±50 nm for the first distance ±150 nm for each further distance |
Up to 13 layers | Industrial distance and thickness measurement e.g. in flat glass production |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Precise distance and thickness measurement in clean room environments and vacuum e.g. in display production for distance and gap measurement |
Indikační a přepočítací jednotky
Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů
Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.
