Detekce a měření nerovností na křemíkových destičkách

Při meření nerovností na křemíkových destičkách se používají konfokální chromatické systémy confocalDT od společnosti Micro-Epsilon. Emitují na destičku malý světelný bod a z toho důvodu se precizně detekují i ty nejmenší části a struktury ve vysokém rozlišení. Tvar a rozměry nerovností na povrchu jsou měřeny proto velmi spolehlivě.

Odporúčaná technológia snímačov

Konfokálne snímače

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
juraj.devecka@micro-epsilon.cz
+421 911 298 922
+420 381 211 060