Interferometr pro měření absolutní vzdálenosti s přesností v nanometrech

interferoMETER IMS5400-DS

Měření vzdálenosti s maximální přesností

Nový interferometr IMS5400-DS otevírá nové perspektivy v průmyslovém měření vzdáleností. Kontrolér má inteligentní vyhodnocení a umožňuje absolutní měření s přesností v nanometrech s relativně velkou ofsetovou vzdáleností. Ve srovnání s jinými absolutně měřicími optickými systémy nabízí IMS5400-DS bezkonkurenční kombinaci přesnosti, rozsahu měření a ofsetové vzdálenosti.

Měření absolutní vzdálenosti s rozlišením v nanometrech

IMS5400-DS se používá pro vysoce přesné měření vzdálenosti a polohy. Na rozdíl od konvenčních interferometrů umožňuje IMS5400-DS stabilní měření stupňovitých profilů. Díky absolutnímu měření jsou úrovně snímány s vysokou stabilitou a přesností signálu. Při měření na pohybujících se objektech lze spolehlivě zaznamenat výškové rozdíly kroků, schodů a vybrání.

Ideální pro průmyslové prostředí

Robustní snímač a řídicí jednotka v kovovém pouzdru činí systém ideálním pro integraci do výrobních linek. Regulátor může být instalován do rozvaděče na lištu a poskytuje velmi stabilní výsledky měření díky aktivní kompenzaci teploty a pasivnímu chlazení. Kompaktní snímače šetří prostor a mohou být také integrovány do stísněných prostor. Vysoce flexibilní kabely z optických vláken jsou k dispozici v délce až 10 metrů a umožňují fyzickou separaci senzoru od ovladače. Uvedení do provozu a parametrizace se provádí pohodlně přes webové rozhraní a nevyžaduje žádnou instalaci softwaru.

Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur

Senzory generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje sledovat malé detaily, např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách.

Měření široké škály povrchů

Interferometrická metoda měření dovoluje měřit s vysokou přesností na četných površích, jako jsou reflexní kovy, plasty či sklo.

Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů

Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.